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EUV

TEUS 13.5nm EUV 광원

작성자 관리자 날짜 2023-01-02 15:48:04
◆파장 13.5nm EUV 광을 출력하는 LPP 광원 ◆Fast rotating ligquid metal 을 laser target 으로 한 Debris 회피기술을 적용 (클린 EUV 광원) ◆Actinic EUV 검사, 측정장비의 최적 EUV 광원
제조사: (네) ISTEQ B.V.
☎ 이 제품은 당사에 직접 문의 바랍니다.
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