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XUV-VUV 분광기 AGS

  • ISTEQ (네델란드)
  • XUV-VUV 분광기모듈

    Wide spectral range 6nm~200nm with single grating

    Resolution λ/Δλ =50

    Compact design

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XUV-VUV 분광기모듈 AGS


AGS 분광기는 파장 6nm~200nm 대를 커버하는 XUV-VUV 측정용(진공환경) 콤팩트 모듈입니다.

AGS 분광기는 Garzing incidence grating + high quantum efficiency CCD 소자로 구성됩니다. 

AGS 분광기는 LPP(laser-produced plasma), DPP(discharge-produced plasma) 같은 플라즈마광원의 스펙트럼 측정에 적합합니다.


ASG-spectrometer-scheme.jpg

<그림> AGS 분광기 원리도


ASG-spectrum-ccdimage-example.jpg


<그림> AGS 분광기-CCD 스펙트럼 선이미지 (Al, C, Si 선스펙트럼)



AGS spectrum-signal-exampl.jpg

<그림> AGS 분광기-CCD 선이미지를 스펙트럼커브로 (LiD, Be, C 샘플)


플라즈마 (LPP, DPP) 광원측정

EUV 측정



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